TDX-01填充柱 高品質(zhì)三氯氫硅中碳含量測(cè)定
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產(chǎn)品名稱：TDX-01填充柱 高品質(zhì)三氯氫硅中碳含量測(cè)定
產(chǎn)品型號(hào)：TDX-01填充柱
產(chǎn)品廠商：浩瀚色譜（山東）應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司
簡(jiǎn)單介紹
TDX-01填充柱 高品質(zhì)三氯氫硅中碳含量測(cè)定的詳細(xì)介紹
高品質(zhì)三氯氫硅中碳含量測(cè)定 詳細(xì)信息：
名稱：填充柱
固定相：碳分子篩
規(guī)格：50cm*3mm
型號(hào);TDX-01
應(yīng)用：YST1059-2015硅外延用三氯氫硅中總碳的測(cè)定氣相色譜法
隨著科技的進(jìn)步,對(duì)硅器件的品質(zhì)提出更高的要求,但由于碳雜質(zhì)的存在,嚴(yán)重制約著其穩(wěn)定性和使用壽命的提高。文章對(duì)多晶硅碳含量和回收氫氣中甲烷含量、三氯氫硅中甲基二氯硅烷等相關(guān)性進(jìn)行分析,結(jié)果表明:多晶硅碳含量主要受氫氣中甲烷含量影響,而三氯氫硅中甲基二氯硅烷對(duì)多晶硅碳含量影響不大,實(shí)際生產(chǎn)中應(yīng)將回收氫中甲烷含量控制在5ppmv以下。
浩瀚色譜（山東）應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司將高純?nèi)葰涔柚械暮嘉镔|(zhì)在氫氣還原爐內(nèi)轉(zhuǎn)化成甲烷,利用配備氫火焰離子化檢測(cè)器的氣相色譜儀進(jìn)行測(cè)定,后換算成總碳的含量。結(jié)果發(fā)現(xiàn),高純?nèi)葰涔柚械募谆裙柰?、甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷等可能的含碳物質(zhì)在轉(zhuǎn)化爐內(nèi)均具有良好的轉(zhuǎn)化率,轉(zhuǎn)化率大于85%。樣品中含碳量的測(cè)定結(jié)果之間重復(fù)性好,精密度較高,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差均小于10%。方法簡(jiǎn)單、快捷,準(zhǔn)確度高,能很好地滿足高純?nèi)葰涔铇悠分袑?duì)含碳物質(zhì)的質(zhì)量控制要求。
高品質(zhì)三氯氫硅中碳含量測(cè)定 測(cè)試譜圖：
采用的不銹鋼管、玻璃管和色譜填料制作各種填充色譜柱
如需要用不銹鋼過(guò)濾網(wǎng)作為柱兩端堵頭，請(qǐng)?jiān)谟嗀洉r(shí)注明
若采用柱上進(jìn)樣，柱入口前端將留有6CM 的空間,
為防止色譜填料流出，柱兩端均用硅烷化玻璃棉封堵
若采用閥進(jìn)樣或非柱上進(jìn)樣的色譜柱，其柱入口處被填滿
可提供多種型號(hào)氣相色譜儀所用玻璃柱構(gòu)型
2mm內(nèi)徑玻璃柱管的入口處均設(shè)有斜面以利進(jìn)樣
每根色譜柱均經(jīng)過(guò)充分老化和嚴(yán)格質(zhì)量評(píng)價(jià)測(cè)試
注意事項(xiàng)
感謝您購(gòu)買(mǎi)浩瀚生產(chǎn)的色譜柱.
浩瀚提供的每一根色譜柱均經(jīng)過(guò)老化，為您獲的分析分離效果，請(qǐng)?jiān)谑褂们霸倮匣?-2小時(shí)。老化時(shí)，應(yīng)先通載氣10min左右，待柱內(nèi)空氣置換干凈后，再用程序升溫升zui高使用溫度老化。
為避免檢測(cè)器被污染，老化時(shí)請(qǐng)不要將色譜柱和檢測(cè)器相連。
當(dāng)柱箱溫度高于室溫時(shí)，載氣中少量氧會(huì)損壞色譜柱內(nèi)的固定相，載氣必須采用脫氧管進(jìn)一步脫氧（建議所用載氣中氧氣含量不要超過(guò)1PPm）
安裝色譜柱時(shí)，產(chǎn)品牌號(hào)應(yīng)面向操作者,左側(cè)為色譜柱的進(jìn)樣口(或見(jiàn)標(biāo)識(shí))。
拆卸色譜柱時(shí)，先將柱溫降室溫，然后再關(guān)載氣。
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